EFM32TG11B140F64GM32-A EFM32TG11B120F128IM64-A EFM32TG11B140F64IM64-A EFM32TG11B120F128IQ64-A EFM32TG11B140F64IQ64-A EFM32TG11B120F128IQ48-A EFM32TG11B140F64IQ48-A EFM32TG11B520F128GM80-AR EFM32TG11B540F64GM80-AR EFM32TG11B520F128GQ80-AR EFM32TG11B540F64GQ80-AR EFM32TG11B520F128GM64-AR EFM32TG11B540F64GM64-AR EFM32TG11B520F128GQ64-AR EFM32TG11B540F64GQ64-AR EFM32TG11B520F128GQ48-AR EFM32TG11B540F64GQ48-AR EFM32TG11B520F128GM32-AR EFM32TG11B540F64GM32-AR EFM32TG11B520F128IM80-AR