ATXMEGA64A1U-ANR ATXMEGA64A3U-AN ATXMEGA64A3U-ANR ATXMEGA64A3U-MN ATXMEGA64A3U-MNR ATXMEGA64A4U-AN ATXMEGA64A4U-MN ATXMEGA64A4U-MNR ATXMEGA64B1-AN ATXMEGA64B3-AN ATXMEGA64B3-MN ATXMEGA64B3-MNR ATXMEGA64C3-MN ATXMEGA64C3-MNR ATXMEGA64D3-MN ATXMEGA64D3-MNR ATXMEGA64D4-AN ATXMEGA64D4-MN ATXMEGA64D4-MNR ATXMEGA8E5-M4N